​张江集团：上海微电子成功研制出中国首台 28nm 光刻机

张江集团：上海微电子成功研制出中国首台 28nm 光刻机

（图片来源：钛媒体 App 编辑拍摄）

传闻落地，中国成功研制出首台 28nm 光刻机。

钛媒体 App 12 月 20 日消息，据张江集团官方账号 " 你好张江 " 于 19 日披露，作为国内唯—一家掌握光刻机技术的企业，上海微电子已成功研制出 28nm 光刻机。此文章还肯定了中芯国际、华虹半导体等在先进模拟芯片代工方面不断注入的强劲能量。

据悉，上海张江（集团）有限公司（简称 " 张江集团 "）于 1992 年 7 月 28 日挂牌设立，是一家统筹承担张江科学城开发建设、项目引进、产业培育、功能服务、创新创业氛围营造等重要功能的国有独资公司，隶属于上海市浦东新区政府监管单位。

因此，张江集团公布的这一消息，标志着中国最新 28nm 前道光刻机研发进展首次被官方披露。

公开信息显示，上海微电子（SMEE）成立于 2002 年，是由国内多家产业集团和投资公司共同投资组建的高科技股份有限公司。公司主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD 面板、MEMS、LED、Power Devices 等制造领域。

2020 年的一份公开信息显示，上海微电子员工人数超过 1000 人，其中博士和硕士占比超过 40%。公开消息称，作为对标 ASML 的公司，上海微电子价值有望接近 1000 亿元人民币。

公开信息显示，上海微电子主要生产四种系列光刻机：用于 IC（集成电路）前道制造的 SSX600 系列光刻机；IC 后道先进封装的 SSB500 系列光刻机；LED、MEMS、功率器件制造的 SSB300 系列光刻机；TFT 曝光的 SSB200 系列光刻机。

半导体制造设备可以分为前道设备和后道设备。其中，前道制造设备主要包括光刻机、涂胶显影设备、刻蚀机、去胶机、薄膜沉积设备、清洗机、CMP 设备、离子注入机、热处理设备、量测设备；后道制造设备主要包括减薄机、划片机、装片机、引线键合机、测试机、分选机、探针台等。

2022 年 12 月，美国商务部将长江存储、上海微电子等 36 家中国公司和实体列入所谓的 " 实体清单 "。这意味着，美国企业将需要获得许可，才能向这些中国客户出口美国技术。

股权结构方面，天眼查显示，上海微电子第一大股东为上海电气控股集团有限公司，持股 34.9099%；第二大股东为上海科技创业投资有限公司，持股 14.4434%。

浦东新区政府官网显示，张江集团成立于 1992 年，注册资金 31.1255 亿元人民币。张江科学城规划面积 95 平方公里，承载着打造世界级一流科学城、国家科创中心的战略任务。在上海建设 " 全球科创中心 " 背景下，围绕 " 科学城开发主力军、新兴产业推动者、科创生态营造者 " 三大定位，2015 年 4 月经国务院批准，张江科学城 37.2 平方公里纳入中国（上海）自由贸易试验区。

目前在上海张江集聚了近 500 家半导体与集成电路企业。公开信息显示，2021 年，上海张江集成电路产业销售收入 1702.56 亿元，占上海全市比重超过六成；2022 年，上海张江科学城经营总收入实现完成额 11780 亿元，其中集成电路产业销售收入完成额 2011 亿元，同比增长 18.1%，占上海集成电路产业总比重的 65.8%。

2022 年，上海集成电路产业规模已首次突破 3000 亿元，共培育了 29 家科创板上市企业。

市场方面，12 月 20 日上午，光刻机概念持续拉升，联合光电涨超 12%，张江高科涨近 7%，波长光电、海立股份、蓝英装备等跟涨。

（本文首发钛媒体 App，作者｜林志佳）